MEF2015 - Forum Exhibitors

【出展製品】

■MEMS設計解析ソフトIntelliSuite■

IntelliSuiteは米国：IntelliSense社で開発された、MEMS用統合解析ソフトウェア。

IntelliSense社はソフトウェアサービスに限らず、光ミラーをはじめ、各種MEMSデバイス製品のコンサルティング、試作サービスなど、Total MEMS Solutionを世界中の顧客に提供している。最新バージョン8.8をリリース。

-主なソフトウェア機能、アップデートとサービス-

・マスク設計から、プロセス設計、エッチング解析、デバイス設計、システム設計、MEMS概略設計までMEMS設計全般をサポートする統合ツール

・MEMS向けデバイス解析、材料物性機能の強化

・マスクエディタ画像処理による大規模モデル対応強化

・プロセスモデリング画像処理の強化

・3次元CADデータ出力機能の強化

・オートメッシュ作成機能の強化

・Siウェットエッチングレート抽出機能の強化

・Deep-RIEエッチング校正機能の追加による解析精度の向上

・露光シミュレーション機能の強化

・金属材料エッチングシミュレーション

・REMEMS向け高周波数電磁界解析機能の強化

・自動計算管理機能のリリース

・システムデータ出力機能の強化

・プロセス加工表面の3次元データ化ツールNanoViewerのリリース

・MEMSコンサルティング、ファウンダリーサービス

■光集積設計解析ソフトPhoeniX■

PhoeniXはオランダ：PhoeniXSoftware社で開発された、光集積分野の設計解析ソフトウェア。

PhoeniXSoftware社はマイクロ・ナノテクノロジー産業（特に光学集積分野）において豊富な知識・経験を有した会社であり、世界中の顧客にデザイン設計・製造コンサルティングサービスを提供している。

-主なソフトウェア機能とサービス-

・FDTD/BPM法による光導波路解析

・光導波路モード解析ソルバー

・光回路システムシミュレーション

・欧州のファブサービスと連携するマスクエディタ

・ファウンダリーサービス