MEF2015 - Forum Exhibitors

 【MEMS事業への取り組み】

　科学技術の進歩とその応用が便利で快適な生活の向上や自然環境の維持に重要な役割を果たしています。

特に飛躍的な革新をもたらすMEMS技術が注目され、情報通信・ライフサイエンス・環境・エネルギーなど、あらゆる分野で研究開発が進められ多くの研究者・技術者が活躍されています。

近年研究開発の成果には最新の技術を応用した、優れた性能と機能を備えた装置の存在がますます重要になっています。

　エリオニクスは皆様との接点となる営業からシステムの企画・設計・製造まで一貫して皆様のご要望にスピーディーに応えられるよう努めてまいります。

今後も多様化、高度化する研究開発に、また新事業の立ち上げに際し、真に役立つ装置の開発にチャレンジしてまいります。

　そして皆様の良きパートナーとなることを目標としてまいります。

【出展製品】

　超高精度電子ビーム描画装置ELS-F125

●超高加速125kVでの電子ビームリソグラフィー！

世界最細の超微細パターン5nmを保証。広領域、低歪の描画フィールドにより、均一かつ高精度な描画を実現。長時間の安定性と省スペース設計。

　ECRイオンシャワー装置EIS-1200

●プラズマ源にECR(電子サイクロトロン共鳴)を利用したエッチング装置

主な用途として、ナノインプリントの原盤作成などがあります。一般的なRIE装置では難しい数10nmの微小な構造の加工が可能。

　三次元粗さ解析走査電子顕微鏡ERAシリーズ

●高分解能SEM＋3D粗さ解析機能の次世代SEM

世界でも唯一、複数本(4本)の二次電子検出器を標準搭載。高分解能で観察しながら、そのまま三次元で取り込み、粗さと形状解析が行えます。

　表面力測定装置ESF-5000

●２つの物質表面の間に働く力(表面力)を定量的に評価できます。

これまで困難であった、μNレンジの表面力を定量的に評価することが可能です。金型の離型性の検証やコーティング膜の密着性の検証などに。

　超微小押込み硬さ試験機ENT-3100

●最小荷重1μN、押込み深さ数nmで塑性・弾性硬さが測定可能

外乱ノイズを除去するため、温度コントロール機構と高性能アクティブ除振台(0.6Hz)を標準装備。最先端薄膜素材、半導体デバイスや高分子材料を再現性よく評価出来ます。