MEF2015 - Forum Exhibitors

MEMS事業への取り組み

様々な材質へ、精密な機械加工を行っております。

各種高精度部品の製作を、数量1個から量産まで対応しております。

特に研磨技術を用いて、寸法・平面度・平行度などを管理する技術においては、サブミクロンオーダーの精度を保証することを得意としています。

面粗さについては、ほとんど全ての材質にRaサブナノ～シングルナノの面粗さを保証することが可能です。

【加工対象材質】

• 金属
• セラミックス
• ガラス・結晶材料
• 樹脂　
• その他新素材など

【加工可能な形状】

• 平面（平面度、平行度、寸法の管理、面粗さサブナノ～の粗さ管理）
• 曲面（形状管理、面粗さサブナノ～の粗さ管理）
• 円筒形状【外径・内径】（真円度、円筒度、寸法・形状管理、ナノオーダーの面粗さ管理）

高精度な加工でソリューションをご提案します。

出展予定製品のご紹介

各種材質の、超精密鏡面加工サンプル

【平面加工サンプル】

• ステンレス(SUS304):φ3in、平面度0.5μm、平行度1μm、面粗さRa0.6nm
• 銅（C1020)::φ3in、平面度1μm、平行度1μm、面粗さRa1nm
• 石英:φ3in、平面度0.5μm、平行度1μm、面粗さRa0.3nm

【曲面加工サンプル】

• アルミ反射ミラー
• ＜＜円筒形状加工サンプル＞＞
• SUS304　φ150＊L150ｍｍ　Ra2nm