MEMS Engineer Forum (MEF) 2025
April 16-17, 2025
KFC Hall, Ryogoku, Tokyo, Japan
MEF2013 Countdown - Forum Exhibitors
SPPテクノロジーズ
MEMS事業への取り組み
当社SPPテクノロジーズ（SPT）は、2011年12月に住友精密工業と英国SPTS Technologies社(SPTS社)による合弁会社として設立されました。
SPTは、MEMSデバイス製造に必要不可欠なSi深掘り装置(DRIE装置)をはじめ、SiO2及びSiの犠牲層ドライエッチング装置、PE-CVD、SiO2エッチング装置などの開発・製造・販売を行っています。
特に、DRIE装置のデファクトスタンダードとして広く好評を得ているASEは、1995年に英国Surface Technology Systems社(STS社、現SPTS社)が世界に先駆け投入したDRIE装置であり、ボッシュプロセスに独自特許技術であるパラメーターランピング技術やマルチフェーズプロセス（MPP）、SOIアップグレード技術などを加えて確立したものです。これらにより、高精度、高アスペクト比の加工形状が高いマスク選択比で形成可能であり、SOI基板や下地界面に酸化膜がある場合に発生し易いノッチを防止しています。そして、これらの技術開発が今日のMEMSデバイス発展に大きく寄与したと考えています。
また、SPTはDRIE装置のトップシェアを維持する為、現在も装置開発を進めており、昨年新プラズマ源を搭載した最新鋭機「Predeus（プレデウス）」を開発・リリースしました。さらに、大学や研究機関向け研究開発装置ASE-SREから量産装置Predeus、Pegasusなど幅広くユーザーのニーズに対応しています。
今後も、MEMS製造におけるプロセス技術と装置開発を進め、ユーザーに最新の技術を提供するとともに、社会の発展に貢献してまいります。
出展製品の紹介
- ASEシリーズ(Predeus、Pegasus、Pegasus300、SRE)
- SiO2犠牲層エッチング装置： SLE-Oｘ、米国SPTS社uEtch
- Si犠牲層エッチング装置： 米国XACTIX社Xetchシリーズ(X4、e1)
- 化合物・酸化膜エッチング装置： APS
- SiCエッチング装置： APS
- プラズマ成膜装置： PE-CVD、英国SPTS社Delta
- 金属膜成膜装置(PVD)： 英国SPTS社Sigma
- 熱処理装置： 米国SPTS社AVP/RVP 等のパネル展示
Column’s Author
Sinichi Kato is a freelance writer and editor specializing in MEMS, semiconductor, display, and energy-related technologies. He also conducts various projects in research, event planning and consulting on a broader range of topics such as electronics, city planning, lifestyle, and culture.
From 2008 to 2010, Mr. Kato worked as a staff writer and editor for the Nikkei Microdevices magazine and the Tech-On! online technical media at Nikkei Business Publications. Before joining Nikkei Business, he worked for Electronic Journal, Inc. as a staff writer and editor for Electronic Journal, a publication dedicated to electronics, since 2002. Mr. Kato graduated from Chuo University in Tokyo in 1999 with a BA degree in literature.
加藤 伸一 略歴：
MEMSや半導体、ディスプレイやエネルギー関連デバイスなどの専門誌における経験をもとに、エレクトロニクスから街づくり、衣食を中心とした生活、文化関連まで、幅広い分野で活動するジャーナリスト。産業技術総合研究所 集積マイクロシステム研究グループ広報担当。
2002年～2008年 株式会社電子ジャーナル（Electronic Journal, Inc.）にて、エレクトロニクス専門誌「Electronic Journal」の記者。
2008年～2010年 株式会社日経ビーピー（Nikkei Business Publications, Inc.）にて、電子でバイス専門誌「Nikkei Microdevices」や、技術系webサイト「Tech-On !」の記者。
2010年～ フリーランスのジャーナリストとして、各種調査、イベント企画、コンサルティングなどの領域で活動中。
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